发明名称 PRODUCTION OF GAAS SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09142997(A) 申请公布日期 1997.06.03
申请号 JP19950302980 申请日期 1995.11.21
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SUZUKI TAKASHI;SHIBATA MASATOMO;KUMA SHOJI
分类号 C30B15/20;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/42 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
地址