发明名称 |
SURFACING METHOD FOR ETCHING OF METALLIC THIN SHEET |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09143763(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
申请号 |
JP19950321021 |
申请日期 |
1995.11.14 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MIYAJI TAKAYOSHI;NISHIKUBO HIROAKI |
分类号 |
C23F1/00;H01J9/14;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|