| 发明名称 |
FORMATION OF SPUTTERING TARGET BY STICKING OF WORK PIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09141453(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
| 申请号 |
JP19960208635 |
申请日期 |
1996.08.07 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
RICHIYAADO II DEMAREI;HOSOKAWA AKIHIRO;MANIYUERU JIEI HERERA |
| 分类号 |
B23K20/00;B23K20/14;B23K20/24;B23K35/00;C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):B23K20/00 |
主分类号 |
B23K20/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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