发明名称 METHOD FOR CLEANING SUBSTRATE BACK SIDE
摘要
申请公布号 JPH09141191(A) 申请公布日期 1997.06.03
申请号 JP19950307196 申请日期 1995.11.27
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 INOUE FUTOSHI
分类号 B05D1/40;B05D3/00;B05D3/10;(IPC1-7):B05D1/40 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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