发明名称 DETECTOR DE CATODOLUMINISCENCIA.
摘要 SE DESCRIBE UN DETECTOR DE CATODOLUMINISCENCIA (11) PARA LA FASE DE MUESTRA EN CAMARA AL VACIO DE UN MICROSCOPIO ELECTRON QUE COMPRENDE UN ELEMENTO ADAPTADOR DE MIEMBRO BASE (27) CON UN TRAMO FILETEADO (30) PARA CONECTAR CON LA FASE DE MUESTRA DEL MICROSCOPIO ( NO DESCRITA AQUI), Y UNA MUESTRA MANTENEDORA (149 SOBRE UN SOPORTE (15) MONTADO SOBRE UNA PARTE DEL REFUERZO DENTADO (27A) DEL ELEMENTO (27), LA CUAL SE ASEGURA CON UN SOPORTE PLANAR (21) QUE TRANSPORTA UN MIEMBRO FOTOSENSITIVO ANULAR (19) CON UNA CAPA AISLANTE (22) Y UNAS CONEXIONES (24). UN REFLECTOR PARABOLICO (16) SE LOCALIZA SOBRE EL MIEMBRO (19) E INCLUYE UN APERTURA (18) PARA EL PASO DE UN RAYO ELECTRON (13). LA SUPERFICIE REFLECTIVA CONCAVA PULIDA (17) DEL REFLECTOR (16) REFLEJA LA RADIACION EMITIDA DESDE LA MUESTRA AL MIEMBRO (19) Y ABSORBE ELECTRONES RETRODISPERSOS DESDE LA MUESTRA.
申请公布号 ES2099914(T3) 申请公布日期 1997.06.01
申请号 ES19930309077T 申请日期 1993.11.12
申请人 NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE 发明人 PHANG, JACOB CHEE HONG;CHAN, DANIEL SIU HUNG;PEY, KIN LEONG
分类号 G01Q30/20;H01J37/20;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G01Q30/20
代理机构 代理人
主权项
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