| 发明名称 |
Installation pourvue d'un dispositif d'admission de gaz, pour le traitement de substrats dans un récipient sous vide, et procédé pour ce traitement. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2705690(B1) |
申请公布日期 |
1997.05.30 |
| 申请号 |
FR19940004731 |
申请日期 |
1994.04.20 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
KUGLER EDUARD;STOCK JAKOB;RUDIGIER HELMUT |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;C23C16/455;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/24;F17D1/04;H01J37/34 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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