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发明名称
Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号
DE4315023(C2)
申请公布日期
1997.05.28
申请号
DE19934315023
申请日期
1993.05.06
申请人
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE
发明人
SICHMANN, EGGO, 63571 GELNHAUSEN, DE;KEMPF, STEFAN, 63755 ALZENAU, DE;KOENIG, MICHAEL, 60529 FRANKFURT, DE
分类号
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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