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经营范围
发明名称
Verfahren zur Ätzung eines tiefen Grabens
摘要
申请公布号
DE69219280(D1)
申请公布日期
1997.05.28
申请号
DE19926019280
申请日期
1992.11.09
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.A., GENTILLY, FR
发明人
DUCREUX, GERARD, F-37230 LUYNES, FR
分类号
H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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