发明名称
摘要
申请公布号 JP2614076(B2) 申请公布日期 1997.05.28
申请号 JP19880077936 申请日期 1988.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/8222;H01L27/02;H01L27/06;H03K17/16;H03K17/64;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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