| 发明名称 |
Thin film forming apparatus using laser |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2303379(B) |
申请公布日期 |
1997.05.28 |
| 申请号 |
GB19960010953 |
申请日期 |
1993.11.29 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MUTSUMI * TSUDA;KOICHI * ONO;KENYU * HARUTA;TAISUKE * FURUKAWA;TAKAAKI * KAWAHARA |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/28;C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
