Sputter ion protective apparatus,申请号US19610113258-传众专利搜索

发明名称	Sputter ion protective apparatus
摘要
申请公布号	US3101431(A)	申请公布日期	1963.08.20
申请号	US19610113258	申请日期	1961.05.29
申请人	VARIAN ASSOCIATES, PALO ALTO	发明人	JEPSEN ROBERT L.;FRANCIS ARTHUR B.
分类号	H01J41/20	主分类号	H01J41/20
代理机构		代理人
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