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发明名称
OPTICAL MASK
摘要
PURPOSE:To reduce the reflection of light on mask surface and improve pattern resolving power by superposing a film of refractive index n<1>/21 on the film of metal or metal oxide of refractive index n1 which shades light of a wavelength lambda
申请公布号
JPS533070(A)
申请公布日期
1978.01.12
申请号
JP19760076953
申请日期
1976.06.29
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
IINO TERUO
分类号
G03F1/00;G03F1/54;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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