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发明名称 ARRAY OF THIN FILM ACTUATED MIRRORS FOR USE IN AN OPTICAL PROJECTION SYSTEM AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 HUT75801(A) 申请公布日期 1997.05.28
申请号 HU19960001201 申请日期 1994.11.15
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KIM,MYOUNG JIN;MIN,YONG KI
分类号 G02B7/198;B81B3/00;B81C1/00;G02B7/18;G02B26/08;G02F1/136;G03B21/28;H01L41/09;H04N5/74;H04N9/30;H04N9/31;(IPC1-7):H04N9/31 主分类号 G02B7/198
代理机构 代理人
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