| 发明名称 |
System and method for tracking optical fringes, to measure the offset between two surfaces using an interferometer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0740128(A3) |
申请公布日期 |
1997.05.28 |
| 申请号 |
EP19960302681 |
申请日期 |
1996.04.17 |
| 申请人 |
AT&T IPM CORP. |
发明人 |
CSIPKES, ANDREI;PALMQUIST, JOHN MARK |
| 分类号 |
G01B11/24;G01M11/00;G02B6/38;(IPC1-7):G01B9/023 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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