清洗探针板上探针的方法及实施该方法的装置

摘要

本发明涉及一种清洗装有探针(4)的探针板(1)的方法，按照该方法，通过将探针(4)暴露于清洗溶液(6)中来清洗探针(4)上的沾染物。按照本发明，该方法的特征在于，将探针(4)浸入溶液(6)中，仅使探针端部(4)与清洗溶液(6)相接触。由于仅将探针端部(14)侵入清洗溶液(6)中，不需要为了测量而防护探针板不受清洗溶液的沾染。因此，本发明方法易于采用。通过实际使用该清洗方法，能恢复探针板的原有性能。

主权项

1.一种清洗探针板的方法，该探针板装有用于与电气装置的测试点形成电接触的探针，按照该方法，通过将探针暴露于清洗溶液中来清洗探针上的沾染物，其特征在于，将探针浸入清洗溶液中，仅使探针的端部接触清洗溶液。