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发明名称 Sputteranlage
摘要
申请公布号 DE69216685(T2) 申请公布日期 1997.05.28
申请号 DE19926016685T 申请日期 1992.05.28
申请人 DEPOSITION SCIENCES, INC., SANTA ROSA, CALIF., US 发明人 BARTOLOMEI, LEROY A., SANTA ROSA, CA 95404, US;READ, THOMAS, SANTA ROSA, CA 95403, US;SHEVLIN, CRAIG, ROHNERT PARK, CA 94928, US
分类号 C23C14/35;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/58;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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