发明名称 VERFAHREN ZUR BATCH-HERSTELLUNG VON DRUCKDIFFERENZ-SENSOREN
摘要
申请公布号 DE59306273(D1) 申请公布日期 1997.05.28
申请号 DE19935006273 申请日期 1993.02.22
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 ARNDT, FRANK, D-10627 BERLIN, DE;HOUDEAU, DETLEF, D-12161 BERLIN, DE;VON RAUCH, MORITZ, D-14055 BERLIN, DE;SCHLAAK, HELMUT, D-14195 BERLIN, DE
分类号 G01L9/00;G01L9/12;G01L13/02;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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