发明名称
摘要
申请公布号 JP2615396(B2) 申请公布日期 1997.05.28
申请号 JP19890176412 申请日期 1989.07.07
申请人 发明人
分类号 H01J49/02;G01N27/62;G01T1/00;G01T1/29;H01J49/40;(IPC1-7):H01J49/02 主分类号 H01J49/02
代理机构 代理人
主权项
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