发明名称 PROCESSO FOTOLITOGRAFICO PER CONTATTO PER LA REALIZZAZIONE DI LINEE METALLICHE SU UN SUBSTRATO
摘要
申请公布号 IT1271298(B) 申请公布日期 1997.05.27
申请号 IT1994MI02565 申请日期 1994.12.20
申请人 ALCATEL ITALIA S.P.A. 发明人 GABBRIELLI BARBARA;CRIPPA OSVALDO
分类号 G03F7/30;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H05K 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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