| 发明名称 |
TERMINAL DETECTION OF DRY ETCHING AND ITS METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09139377(A) |
申请公布日期 |
1997.05.27 |
| 申请号 |
JP19950294154 |
申请日期 |
1995.11.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
SUZUKI MINORU |
| 分类号 |
G01N22/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
