发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09139507(A) 申请公布日期 1997.05.27
申请号 JP19950317433 申请日期 1995.11.10
申请人 SONY CORP 发明人 NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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