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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
JPH09139358(A)
申请公布日期
1997.05.27
申请号
JP19950294203
申请日期
1995.11.13
申请人
SONY CORP
发明人
SUMI HIROBUMI
分类号
C23F4/00;C23C14/16;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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