发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09139358(A) 申请公布日期 1997.05.27
申请号 JP19950294203 申请日期 1995.11.13
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI
分类号 C23F4/00;C23C14/16;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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