PLASMA TREATMENT DEVICE,申请号JP19950317556-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09139378(A)	申请公布日期	1997.05.27
申请号	JP19950317556	申请日期	1995.11.10
申请人	KOKUSAI ELECTRIC CO LTD	发明人	TOYODA KAZUYUKI
分类号	C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
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