| 发明名称 |
REATTORE EPITASSIALE MUNITO DI SUSCETTORE DISCOIDALE PIANO ED AVENTE FLUSSO DI GAS PARALLELO AI SUBSTRATI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1271233(B) |
申请公布日期 |
1997.05.27 |
| 申请号 |
IT1994MI01997 |
申请日期 |
1994.09.30 |
| 申请人 |
LPE |
发明人 |
OGLIARI VINCENZO;PRETI FRANCO;POZZETTI VITTORIO |
| 分类号 |
C30B25/10;C23C16/44;C23C16/458;C30B25/02;C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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