| 发明名称 |
SURFACE TREATING METHOD AND APPARATUS AND ELEMENT OBTAINED FROM THEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09139374(A) |
申请公布日期 |
1997.05.27 |
| 申请号 |
JP19950296776 |
申请日期 |
1995.11.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MITSUYA MUNEHISA;RATOBITSUCHI MAAKU;WADA YASUO |
| 分类号 |
H01L21/306;B81B1/00;B81C99/00;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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