发明名称 A method of fabricating microcrystalline semiconductor alloy material
摘要
申请公布号 IN178611(B) 申请公布日期 1997.05.24
申请号 IN1991DE68119 申请日期 1991.07.29
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 GUHA SUBHENDIJ;OVSHINSKY STANFORD ROBERTS
分类号 C23C14/14;(IPC1-7):C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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