| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FRO THERMAL TRANSFER WITH A SEMICONDUCTOR WAFER IN VACUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR970008322(B1) |
申请公布日期 |
1997.05.23 |
| 申请号 |
KR19880017870 |
申请日期 |
1988.12.30 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC. |
发明人 |
MEARS, ERIC LORING;PIERCE, KEITH D. |
| 分类号 |
H01J37/20;B29C39/24;B29C39/42;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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