Verfahren zum Ätzen von Kontaktlöchern mit abgeschrägten Flanken,申请号DE19906028939T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Ätzen von Kontaktlöchern mit abgeschrägten Flanken
摘要
申请公布号	DE69028939(T2)	申请公布日期	1997.05.22
申请号	DE19906028939T	申请日期	1990.03.15
申请人	NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	CHEUNG, DAVID WINGTON, FOSTER CITY, CA, US;ABT, NORMAN EDWIN, BURLINGAME, CA 94010, US;MCNALLY, PETER A., AUSTIN, TEXAS 78748, US
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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