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发明名称 Methode und Einrichtung zum Montieren einer Schneidstütze auf einem Halbleiter-Wafer
摘要
申请公布号 DE69029510(T2) 申请公布日期 1997.05.22
申请号 DE19906029510T 申请日期 1990.10.25
申请人 NAOETSU ELECTRONICS CO., KUBIKI, NAKAKUBIKI, NIIGATA, JP 发明人 SATO, TSUTOMU, NIIGATA-KEN, JP;YOSHIMURA, YASUSHI, NIIGATA-KEN, JP;KIMURA, HIROKASU, NIIGATA-KEN, JP;KASAHARA, AKIO, NIIGATA-KEN, JP;HIGUCHI, HIDEO, NIIGATA-KEN, JP;IGARASHI, ZENICHI, NAKAKUBIKI-GUN NIIGATA-KEN, JP
分类号 H01L21/304;B28D1/00;B28D5/00;H01L21/673;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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