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发明名称 APPARARUS AND METHOD FOR PRODUCING GASEOUS IONS BY USE OF X-RAYS, AND VARIOUS APPARATUSES AND STRUCTURES USING THEM.
摘要
申请公布号 EP0671871(A4) 申请公布日期 1997.05.21
申请号 EP19940908129 申请日期 1993.08.13
申请人 TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA;HAMAMATSU PHOTONICS K.K.;OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO;INABA, HITOSHI 202;IKEDO, TOMOYUKI
分类号 H05F3/06;(IPC1-7):H05F3/06;H01L21/02;H01L21/68;A01G7/00;E04H5/02 主分类号 H05F3/06
代理机构 代理人
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