发明名称 Electron tunneling accelerometer
摘要
申请公布号 EP0619494(B1) 申请公布日期 1997.05.21
申请号 EP19940103620 申请日期 1994.03.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BIEBL, MARKUS, DIPL.-PHYS.;SCHEITER, THOMAS, DIPL.-ING.;KLOSE, HELMUT, DR.
分类号 H01L29/88;G01P15/08;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 H01L29/88
代理机构 代理人
主权项
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