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发明名称
摘要
申请公布号
JP2612102(B2)
申请公布日期
1997.05.21
申请号
JP19910057287
申请日期
1991.03.20
申请人
发明人
分类号
G01R31/02;H01L21/3205;(IPC1-7):G01R31/02;H01L21/320
主分类号
G01R31/02
代理机构
代理人
主权项
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