| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING PLANE DIRECTION OF CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09134941(A) |
申请公布日期 |
1997.05.20 |
| 申请号 |
JP19950292354 |
申请日期 |
1995.11.10 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
SUGAI KAZUMI;MORISHIGE YUKIO |
| 分类号 |
G01N21/87;G01N21/21;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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