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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134905(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19930092532 申请日期 1993.03.27
申请人 ULVAC JAPAN LTD;HORIIKE YASUHIRO 发明人 IKUTA YOSHITANE;HORIIKE YASUHIRO;WATANABE KAZUHIRO;HAYASHI TOSHIO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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