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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134925(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950289724 申请日期 1995.11.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 WADA KAZUMI;KODA HIROKI;WATANABE NORIYUKI;FUSHIMI HIROSHI;NAKANISHI HIDEO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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