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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134955(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950290799 申请日期 1995.11.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUNIKIYO TATSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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