| 发明名称 |
Lineær bueutladning ved plasma-prosessering |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO972280(D0) |
申请公布日期 |
1997.05.20 |
| 申请号 |
NO19970002280 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
SURFCOAT OY |
发明人 |
BARDOS, LADISLAV;BARANKOVA, HANA |
| 分类号 |
H05H1/34;C23C14/24;C23C14/40;C23C16/50;H01L21/31;H05H1/48;H05H1/50 |
主分类号 |
H05H1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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