发明名称 BONDING TOOL EXCELLENT IN OXIDATION RESISTANCE
摘要
申请公布号 JPH09134938(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19960015801 申请日期 1996.01.31
申请人 KOBE STEEL LTD;SHINKO KOBELCO TOOL KK 发明人 NISHIKAWA MASATOSHI;SUGIZAKI YASUAKI;SATO TOSHIKI;SAI MASANORI;NISHIMURA KOZO;INOUE TAKAO;MIYATA KOICHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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