| 发明名称 |
FORMING METHOD OF FILM AND PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09134867(A) |
申请公布日期 |
1997.05.20 |
| 申请号 |
JP19950292466 |
申请日期 |
1995.11.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMANAKA RYOKO;ASAI NAOKO;MINE TOSHIYUKI;TANAKA TOSHIHIKO |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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