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发明名称 METHOD OF FORMING SILICON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH09134919(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950289850 申请日期 1995.11.08
申请人 SONY CORP 发明人 FUJITA SHIGERU
分类号 H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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