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发明名称 BEAM SHUTTER DEVICE FOR LARGE AREA ION BEAM IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134702(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950315774 申请日期 1995.11.10
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJITA SHIGEHIRO
分类号 C23C14/48;H01J37/09;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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