发明名称 DIE DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134988(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950290829 申请日期 1995.11.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGIHARA KOICHI
分类号 B21D28/00;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 B21D28/00
代理机构 代理人
主权项
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