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发明名称 HIGH FREQUENCY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134800(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950289890 申请日期 1995.11.08
申请人 JEOL LTD 发明人 HIDAKA SHINTARO
分类号 H05H1/46;C23C14/40;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H03H7/40;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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