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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SPECIMEN FOR TRANSMISSION TYPE ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09129689(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950284241 申请日期 1995.10.31
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA YUJI
分类号 G01N23/04;G01N1/06;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N23/04
代理机构 代理人
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