| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE, SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09129781(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19950285327 |
申请日期 |
1995.11.01 |
| 申请人 |
SHINKO ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HAYASHI KOICHIRO;MIYAGAWA HIROSHI;TAKEUCHI YUKIHARU |
| 分类号 |
H01L23/14;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/14 |
主分类号 |
H01L23/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
