| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ELEMENT EVALUATION PATTERN AND EVALUATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09129696(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19960213346 |
申请日期 |
1996.08.13 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHIMOMURA HIROSHI |
| 分类号 |
G01R31/317;H01L21/3205;H01L21/66;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 |
主分类号 |
G01R31/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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