| 发明名称 |
PREPARATION OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09129568(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19960266236 |
申请日期 |
1996.10.07 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
HERUBERUTO GEEBERU;FUESUNA GEEBERU |
| 分类号 |
C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 |
主分类号 |
C30B31/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
