GAS COLLECTION APPARATUS,申请号JP19950287143-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	GAS COLLECTION APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH09129561(A)	申请公布日期	1997.05.16
申请号	JP19950287143	申请日期	1995.11.06
申请人	TEISAN KK	发明人	TOMITA SHINJI;NOZAWA NARUSADA
分类号	B01D8/00;B01D53/00;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	B01D8/00
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