| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09129758(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19950281048 |
申请日期 |
1995.10.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
SHIBA KAZUYOSHI;TAKEYAMA KOJI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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