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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH09128435(A)
申请公布日期
1997.05.16
申请号
JP19950306539
申请日期
1995.10.31
申请人
HITACHI LTD
发明人
TASHIRO TAKU
分类号
H01L27/04;G06F17/50;H01L21/822;(IPC1-7):G06F17/50
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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